SPECIFICATIONS
產品規格
| 材質 | 高純度碳化矽（SiC） |
|---|---|
| 純度 | > 99% |
| 最高使用溫度 | > 1,600°C（連續使用） |
| 抗熱衝擊性 | 優異，可承受急冷急熱 |
| 抗氧化性 | 優（高溫氧化氣氛中） |
| 抗腐蝕性 | 優（強酸鹼除外） |
| 硬度 | HV 2,500（莫氏硬度 9+） |
| 客製選項 | 外徑、內徑、長度、端部形狀均可客製 |
PRODUCT TYPES
產品類型
- 反應燒結 SiC（RBSiC）
成本較低，適合鋁液熔煉等一般高溫保護場景。
- 重結晶 SiC（ReSiC）
高純度、高強度，適合半導體擴散爐等超高溫製程。
- 氮化矽結合 SiC（NSiC）
優異抗熱衝擊，適合急冷急熱頻繁的場景。
INDUSTRIES
應用產業
- 半導體製程 — 擴散爐（Diffusion Furnace）爐管保護、LPCVD 製程
- 鋁合金鑄造 — 熔融鋁液中熱電偶保護管、澆注導管
- 長晶爐 — 矽晶棒生長設備構件
- 陶瓷燒結爐 — 高溫燒結保護件
- 化工設備 — 耐腐蝕高溫管道保護
FAQ
常見問題
碳化矽保護管和不鏽鋼保護管有什麼差別？
不鏽鋼保護管上限約 1100-1200°C，在高溫下強度下降，且與鋁液接觸時容易被侵蝕。SiC 保護管耐溫超過 1600°C，在鋁液環境中化學惰性佳，使用壽命是不鏽鋼的 3-10 倍，是鋁鑄造廠的首選。
碳化矽保護管能否用於半導體製程中的氫氣氣氛？
在氧化氣氛下 SiC 性能優異。在還原性或氫氣氣氛下，高純度的重結晶 SiC（ReSiC）表現較好。請提供您的具體製程條件，我們協助選型。
如何訂購客製化碳化矽保護管？
請提供：外徑（mm）、內徑（mm）、長度（mm）、使用溫度、使用環境（氣氛、接觸介質）、數量。電話 03-381-4497 或線上詢問表單，我們 1-2 個工作日回覆報價。